Man kennt bildgebende Verfahren vor allem aus der Medizin: die hochauflösende Optische Kohärenztomografie (OCT) kommt zum Beispiel in der Augenheilkunde zum Einsatz. Das Fraunhofer-Institut für Techno- und Wirtschaftsmathematik ITWM nutzt diese Technik zur Dickenmessung sehr dünner Schichten und entwickelt im Projekt »Dünnschicht-OCT« die nächste Generation dieser Messsysteme. Dabei stoßen die Forschenden gemeinsam mit der Mabri.Vision GmbH in Schichtdickenbereiche von weniger als 2 µm vor. Das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) fördert das Projekt in seinem »Zentralen Innovationsprogramm Mittelstand« (ZIM).
Hier wird ganz genau hingeschaut: Optische Kohärenztomographie-Systeme nutzt man für die hochaufgelöste Schichtdickenmessung von Einzel- und Mehrschichtproben. Auch abseits der Medizin ist der Einsatzbereich vielseitig: dazu zählen transparente Lackschichten, Verpackungen und Folien, beschichtete Wafer, Glassubstrate, dünne Drähte sowie der Schichtaufbau von Rohren und Schläuchen.
Auflösungsgrenze verschieben
Forschende der ITWM-Abteilung »Materialcharakterisierung und -prüfung« greifen in »Dünnschicht-OCT« auf ihre langjährige Expertise mit Messsystemen zurück, um die Auflösungsgrenze der OCT-Systeme von derzeit etwa 10 µm auf unter 2 µm zu verbessern. »Diesen Schritt wollen wir durch eine ganzheitliche Betrachtung der Hardware – wie zum Beispiel breitbandigen Lichtquellen und Detektoren – und der Software im Bereich Datenaufbereitung und Datenauswertung erreichen«, sagt Dr. Stefan Duran, Projektleiter am Fraunhofer ITWM, über das ZIM-Projekt.
Auch die Kompetenzen von Mabri.Vision kommen zum Zuge: Der Aachener Maschinen- und Anlagenbauer liefert die Hardware – also die OCT-Systeme –, während das Fraunhofer ITWM sich auf Materialcharakterisierung und Software fokussiert.
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https://www.itwm.fraunhofer.de/de/presse-publikationen/presseinformationen/2022/2022_03_15_duennschicht-oct_schichtdickenmesssysteme.html
Quelle Text/Bild:
Fraunhofer-Institut für Techno- und Wirtschaftsmathematik
Fraunhofer-Platz 1
67663 Kaiserslautern
www.itwm.fraunhofer.de
Kaiserslautern, 15.03.2022
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